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    科民ALD實現(xiàn)2.5s/cycle成膜


    發(fā)布時間:

    2020/06/01

    科民電子具有勻氣可更換雙腔,1cycle時長縮減到2.5s

     

      科民電子具有勻氣可更換雙腔,1cycle時長縮減到2.5s

     

     


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