科民電子推出新一代ALD設(shè)備-固態(tài)源ALD

發(fā)布時(shí)間:

2022/04/02

嘉興科民電子推出固態(tài)ALD設(shè)備，攻克低蒸氣壓下固態(tài)源難出源的難題。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明，固態(tài)ALD設(shè)備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現(xiàn)優(yōu)異。

科民電子推出新一代ALD設(shè)備-固態(tài)源ALD

嘉興科民電子推出固態(tài)ALD設(shè)備，攻克低蒸氣壓下固態(tài)源難出源的難題。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明，固態(tài)ALD設(shè)備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現(xiàn)優(yōu)異。