我司助力復(fù)旦大學(xué)成功研發(fā)世界首個半浮柵晶體管（SFGT）！
復(fù)旦大學(xué)成功研發(fā)世界首個半浮柵晶體管（SFGT），結(jié)果發(fā)表在《Science》，并有央視1套節(jié)目報道。我們提供了關(guān)鍵的柵隔離介質(zhì)薄膜制備設(shè)備和工藝方案。
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