TALD系列原子層沉積系統(tǒng)是專門為先進半導體工藝開發(fā)的薄膜沉積系統(tǒng),已在國內高校和科研院所裝機超百臺。以優(yōu)良的品質,極高的可靠性,超長的使用壽命受到客戶的認可,產品性能和售后服務得到用戶一致好評。
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關鍵詞: 雙腔熱型原子層沉積系統(tǒng)

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